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Re:Re:Re:複数回露光の意味
No.50747　2007/08/07（Tue） 01:39
投稿者 ： Semico
カメラ：その他
》 ムーミンパパ さん

分かりやすく説明すると、1回の露光による歩留まりが80%とするとそれを2回
繰り返すと0.8×0.8=0.64でざっと6割程度に歩留まりが落ちます。もちろん、
それから後の工程の歩留まりも乗算されるので、トータル半分近くまで落ちる
ことになるでしょう。半導体のコスト削減には、プロセスルールの微細化の
他に露光回数を減らす為に露光に使用するマスクパターンを減らすってこと
もやっているんですよ。


>技術的なことはよくわからないんですが
>
>>要はやる気の問題（市場規模とイニシャルコストのバランス）の問題じゃないですかねぇ。
>
>この辺はその通りだと思います
>
>でも、２回露光したからといって、製造原価がびっくりするほど
>跳ね上がるものなんでしょうか？
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